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微型动态压力传感器的应用

发布者:西安压力传感器  发布时间:2019-08-07 20:33 浏览次数:

微型动态压力传感器的应用 
来源:西安晨力仪器仪表有限公司
关键词:微型动态压力传感器  微型压力

  微型动态压力传感器从其关键技术参数来分析,主要有以下几个特点:
1.小体积是其区别于一般工业、民用压力传感器的一个特点。这是由它的应用场合决定的特性,在模型试验、流场压力测量、风洞实验、爆破、水利缩模实验等应用中,必须采用尽可能小的安装尺寸和外形,通用的隔膜压力传感器,如电容式、充油的隔膜压阻传感器因其探头尺寸最小也在25mm左右,长度60mm,这样的尺寸对于上述应用已无法满足。目前实验中常用的硅压阻式微型压力传感器,因其敏感元件尺寸小,利于微型化,长宽约1.5-4mm的圆形或方形单晶硅芯片经过真空键合,金丝引线焊接,再用不锈钢外壳微型封装,经过温度补偿和各项指标筛选,可以得到直径3--8mm,长度15-30mm的微型结构尺寸,一般采用M5--M8的安装螺纹。是目前应用最为普遍的微型压力传感器。
2.微型压力传感器的动态特性:
  动态压力传感器目前主要有压电式传感器、应变式传感器(包括溅射薄膜)、硅压阻式压力传感器三大类,压电式传感器是高频测量效果最佳的传感器,应变式动态响应稍差,前两者均不易做到5mm以下微型化,而硅压阻式压力传感器动态性能好,同时容易实现微型化封装,具有广泛的应用前景。硅压阻式压力传感器的动态性能主要取决于其芯片的设计原理和生产工艺,动态压力传感器在芯片的设计和制造工艺上对动态指标进行了优化,这与普通工业用的传感器芯片是不一样的。另一方面还受其封装方式的影响,一般根据膜片的封装分为齐平式封装和带导压管的封装方式。或者是带有较短压腔的准齐平封装。其最高可用频率响应可达400KHZ, 带有管腔的传感器也可达到3-10KHZ左右的使用频率范围。
 传感器的输出信号再通过专用高频信号放大器,可以输出0-10V 0-5V 0-2.5v 等幅值的归一化电压信号,方便使用者采集处理。
3.微型压力传感器的使用
  微型压力传感器按其测量的介质类型,通常用于测量气压、水压或油压两种。微型压力传感器用于水工模型时又称做微型水工压力传感器,微型液位传感器,一般不带螺纹,带有防水引线,可直接投入液体中测量。采用分体式外置放大器,输出一般为0-5V电压。如需要固定安装在测量位置时,一般采用螺纹连接或橡胶件挤压密封连接,此时可以根据安装需要,灵活定制长度、直径等参数。
4.微型压力传感器的选择
   在明确测量需求后,使用者可以提出期望的安装尺寸,长度、直径、测量介质、温度、动态指标、信号输出等要求与厂家协商制定具体方案,微型压力传感器是高度订制化的产品,厂家能够根据使用要求灵活设计和制造出适用的产品。

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